3D and Circuit Integration of MEMS (inbunden, eng)
300 kr rabatt med Plus!
Bra val!
Bli Plus-medlem så handlar du till våra inköpspriser och får unika erbjudanden! De första 14 dagarna är gratis och därefter kostar medlemskapet 89 kr per månad.
Rabatten aktiveras automatiskt när du lägger produkten i varukorgen. Därefter kan du handla till nätets lägsta priser och njuta av fri frakt på hela vårt sortiment.
Medlemspriser aktiverade
Du handlar nu till våra lägsta priser. Din totala rabatt ser du i varukorgen när du checkar ut.
- Inköpspriser för medlemmar (Logga in)
- Fri frakt över 499 kr
- 14 dagars öppet köp
And, in 3D and Circuit Integration of MEMS, distinguished editor Dr. Masayoshi Esashi delivers a comprehensive and systematic exploration of the technologies for microsystem packaging and heterogeneous integration. The book focuses on the silicon MEMS that have been used extensively and the technologies surrounding system integration.
You’ll learn about topics as varied as bulk micromachining, surface micromachining, CMOS-MEMS, wafer interconnection, wafer bonding, and sealing. Highly relevant for researchers involved in microsystem technologies, the book is also ideal for anyone working in the microsystems industry.
It demonstrates the key technologies that will assist researchers and professionals deal with current and future application bottlenecks. Readers will also benefit from the inclusion of:A thorough introduction to enhanced bulk micromachining on MIS process, including pressure sensor fabrication and the extension of MIS process for various advanced MEMS devicesAn exploration of epitaxial poly Si surface micromachining, including process condition of epi-poly Si, and MEMS devices using epi-poly SiPractical discussions of Poly SiGe surface micromachining, including SiGe deposition and LP CVD polycrystalline SiGeA concise treatment of heterogeneously integrated aluminum nitride MEMS resonators and filtersPerfect for materials scientists, electronics engineers, and electrical and mechanical engineers, 3D and Circuit Integration of MEMS will also earn a place in the libraries of semiconductor physicists seeking a one-stop reference for circuit integration and the practical application of microsystems.
Format | Inbunden |
Omfång | 528 sidor |
Språk | Engelska |
Förlag | Wiley-VCH Verlag GmbH |
Utgivningsdatum | 2021-04-21 |
ISBN | 9783527346479 |
Artikelnummer
2991933
EAN
9783527346479
Leverans:
Denna produkt skickas från oss inom 4 - 5 vardagar. I kassan väljer du om du vill få leverans med Budbee, Airmee, Best Transport, Early Bird, Postnord eller DB Schenker. Vissa speditörer har vikt- eller storleksbegränsningar och kan av den anledningen saknas som alternativ i kassan om du handlar många eller väldigt stora produkter.Fri retur:
Hos oss får du fri retur och 14 dagars full returrätt från den dagen du tar emot din leverans.Undantag:
Hygienartiklar, livsmedel, gratisprodukter, kosmetik, underkläder och intimprodukter får inte returneras på grund av hygienskäl. Är du osäker på om en produkt får returneras kan du kontakta oss på info@buyersclub.se.Leveranser: